반도체 공정 - 금속 배선 공정(Metallization)
금속 배선 공정 #시작하며 앞선 포스팅에서 공부했던 Photo, 식각(Etching), 증착 등 여러 공정들을 반복하면서 웨이퍼 위에 반도체 회로가 형성된다. 이렇게 만들어진 회로를 동작하기 위해서는, 외부에서 전기적 신호를 가해주어야 하는데, 신호가 잘 전달되도록 반도체 회로 패턴에 따라 금속선을 연결하는 작업을 금속 배선 공정이라고 한다. #금속 배선 공정(Metallization) 금속 배선 공정이란, 반도체 제품에 존재하는 많은 소자들을 동작시키고 이들의 신호가 섞이지 않게 선들을 잘 연결하는 작업을 말한다. 해당 공정은, 전류가 흐르는 Interconnect와 그 사이를 절연으로서 구분해주는 Dielectrics로 구성된다. 금속 배선 공정에 사용되기 위한 금속의 조건 * 웨이퍼와의 부착성 : ..
반도체 공정
2021. 8. 19. 11:25
